AF?微米級深度高度測量儀Z軸驅動裝置的功能 返回列表頁

1.是結合了光切斷的狹縫圖像觀察和點光圖像的AF(自動對焦)追蹤的新型深度高度測量機。2.通過連續追蹤AF驅動，可實現高精度重復測量，操作性好，速度快。3。由于是一邊觀察狹縫圖像映射出的臺階形狀一邊進行測量的方式，因此可以實時識別測量畫面上的高低，可以容易地判斷需要測量的部位。4.測定點處的狹縫圖像·點光像·電子線基準線的中心全部一致的測量系統，通過檢查偏差，可以防止用錯誤的數值進行測量。5.光切斷的仰角除了標準的90°外，還可以根據用途選擇導入30°60°120°。